实验设备

(1) 超净实验室

(2) 超高真空磁控溅射和电子束蒸发设备

(3) ICP薄膜刻蚀系统

(4) 薄膜台阶仪

(5) 划片机

(6) 超声点焊机

(7) 氦3制冷机和隧道谱测量系统

(8) 稀释制冷机和量子比特测量系统1

(9) 稀释制冷机和量子比特测量系统2

(10) 心磁测量实验室