实验设备

(1) 超净实验室

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(2) 超高真空磁控溅射和电子束蒸发设备

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(3) ICP薄膜刻蚀系统

i4

(4) 薄膜台阶仪


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(5) 划片机


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(6) 超声点焊机


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(7) 氦3制冷机和隧道谱测量系统


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(8) 稀释制冷机和量子比特测量系统1


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(9) 稀释制冷机和量子比特测量系统2


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(10) 心磁测量实验室


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